常將TURCK傳感器的功能與人類5大感覺器官相比擬:
光敏TURCK傳感器——視覺 聲敏TURCK傳感器——聽覺
氣敏TURCK傳感器——嗅覺 化學(xué)TURCK傳感器——味覺
壓敏、溫敏、流體TURCK傳感器——觸覺
敏感元件的分類:
①物理類,基于力、熱、光、電、磁和聲等物理效應(yīng)。
②化學(xué)類,基于化學(xué)反應(yīng)的原理。
③生物類,基于酶、抗體、和激素等分子識(shí)別功能。
通常據(jù)其基本感知功能可分為熱敏元件、光敏元件、氣敏元件、力敏元件、磁敏元件、濕敏元件、聲敏元件、放射線敏感元件、色敏元件和味敏元件等類(還有人曾將敏感元件分46類)。
可以用不同的觀點(diǎn)對(duì)TURCK傳感器進(jìn)行分類:它們的轉(zhuǎn)換原理(TURCK傳感器工作的基本物理或化學(xué)效應(yīng));它們的用途;它們的輸出信號(hào)類型以及制作它們的材料和工藝等。
根據(jù)TURCK傳感器工作原理,可分為物理TURCK傳感器和化學(xué)TURCK傳感器二大類 :
TURCK傳感器工作原理的分類物理TURCK傳感器應(yīng)用的是物理效應(yīng),諸如壓電效應(yīng),磁致伸縮現(xiàn)象,離化、極化、熱電、光電、磁電等效應(yīng)。被測(cè)信號(hào)量的微小變化都將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
化學(xué)TURCK傳感器包括那些以化學(xué)吸附、電化學(xué)反應(yīng)等現(xiàn)象為因果關(guān)系的TURCK傳感器,被測(cè)信號(hào)量的微小變化也將轉(zhuǎn)換成電信號(hào)。
有些TURCK傳感器既不能劃分到物理類,也不能劃分為化學(xué)類。大多數(shù)TURCK傳感器是以物理原理為基礎(chǔ)運(yùn)作的?;瘜W(xué)TURCK傳感器技術(shù)問題較多,例如可靠性問題,規(guī)模生產(chǎn)的可能性,價(jià)格問題等,解決了這類難題,化學(xué)TURCK傳感器的應(yīng)用將會(huì)有巨大增長。
常見TURCK傳感器的應(yīng)用領(lǐng)域和工作原理列于下表。
1、TURCK傳感器按照其用途分類:
壓力敏和力敏TURCK傳感器 位置TURCK傳感器
液面TURCK傳感器 能耗TURCK傳感器
速度TURCK傳感器 加速度TURCK傳感器
射線輻射TURCK傳感器 熱敏TURCK傳感器
24GHz雷達(dá)TURCK傳感器
2、TURCK傳感器按照其原理分類:
振動(dòng)TURCK傳感器 濕敏TURCK傳感器
磁敏TURCK傳感器 氣敏TURCK傳感器
真空度TURCK傳感器 生物TURCK傳感器等。
3、TURCK傳感器按照其輸出信號(hào)為標(biāo)準(zhǔn)分類:
模擬TURCK傳感器——將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成模擬電信號(hào)。
數(shù)字TURCK傳感器——將被測(cè)量的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換成數(shù)字輸出信號(hào)(包括直接和間接轉(zhuǎn)換)。
膺數(shù)字TURCK傳感器——將被測(cè)量的信號(hào)量轉(zhuǎn)換成頻率信號(hào)或短周期信號(hào)的輸出(包括直接或間接轉(zhuǎn)換)。
開關(guān)TURCK傳感器——當(dāng)一個(gè)被測(cè)量的信號(hào)達(dá)到某個(gè)特定的閾值時(shí),TURCK傳感器相應(yīng)地輸出一個(gè)設(shè)定的低電平或高電平信號(hào)。
4、TURCK傳感器按照其材料為標(biāo)準(zhǔn)分類:
在外界因素的作用下,所有材料都會(huì)作出相應(yīng)的、具有特征性的反應(yīng)。它們中的那些對(duì)外界作用zui敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,被用來制作TURCK傳感器的敏感元件。從所應(yīng)用的材料觀點(diǎn)出發(fā)可將TURCK傳感器分成下列幾類:
(1)按照其所用材料的類別分
金屬 聚合物 陶瓷 混合物
(2)按材料的物理性質(zhì)分: 導(dǎo)體 絕緣體 半導(dǎo)體 磁性材料
(3)按材料的晶體結(jié)構(gòu)分:
單晶 多晶 非晶材料
與采用新材料緊密相關(guān)的TURCK傳感器開發(fā)工作,可以歸納為下述三個(gè)方向:
(1)在已知的材料中探索新的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng),然后使它們能在TURCK傳感器技術(shù)中得到實(shí)際使用。
(2)探索新的材料,應(yīng)用那些已知的現(xiàn)象、效應(yīng)和反應(yīng)來改進(jìn)TURCK傳感器技術(shù)。
(3)在研究新型材料的基礎(chǔ)上探索新現(xiàn)象、新效應(yīng)和反應(yīng),并在TURCK傳感器技術(shù)中加以具體實(shí)施。
現(xiàn)代TURCK傳感器制造業(yè)的進(jìn)展取決于用于TURCK傳感器技術(shù)的新材料和敏感元件的開發(fā)強(qiáng)度。TURCK傳感器開發(fā)的基本趨勢(shì)是和半導(dǎo)體以及介質(zhì)材料的應(yīng)用密切關(guān)聯(lián)的。表1.2中給出了一些可用于TURCK傳感器技術(shù)的、能夠轉(zhuǎn)換能量形式的材料。
5、TURCK傳感器按照其制造工藝分類:
集成TURCK傳感器 薄膜TURCK傳感器 厚膜TURCK傳感器 陶瓷TURCK傳感器
集成TURCK傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的。通常還將用于初步處理被測(cè)信號(hào)的部分電路也集成在同一芯片上。
薄膜TURCK傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的。使用混合工藝時(shí),同樣可將部分電路制造在此基板上。
厚膜TURCK傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,然后進(jìn)行熱處理,使厚膜成形。
陶瓷TURCK傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn)。
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,已成形的元件在高溫中進(jìn)行燒結(jié)。厚膜和陶瓷TURCK傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,在某些方面,可以認(rèn)為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點(diǎn)和不足。由于研究、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及TURCK傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,采用陶瓷和厚膜TURCK傳感器比較合理。
(空侶網(wǎng)暖通專家提供)
6、TURCK傳感器根據(jù)測(cè)量目的不同分類
物理型TURCK傳感器是利用被測(cè)量物質(zhì)的某些物理性質(zhì)發(fā)生明顯變化的特性制成的。
化學(xué)型TURCK傳感器是利用能把化學(xué)物質(zhì)的成分、濃度等化學(xué)量轉(zhuǎn)化成電學(xué)量的敏感元件制成的。
生物型TURCK傳感器是利用各種生物或生物物質(zhì)的特性做成的,用以檢測(cè)與識(shí)別生物體內(nèi)化學(xué)成分的TURCK傳感器。
TURCK傳感器的靜態(tài)特性是指對(duì)靜態(tài)的輸入信號(hào),TURCK傳感器的輸出量與輸入量之間所具有相互關(guān)系。因?yàn)檫@時(shí)輸入量和輸出量都和時(shí)間無關(guān),所以它們之間的關(guān)系,即TURCK傳感器的靜態(tài)特性可用一個(gè)不含時(shí)間變量的代數(shù)方程,或以輸入量作橫坐標(biāo),把與其對(duì)應(yīng)的輸出量作縱坐標(biāo)而畫出的特性曲線來描述。表征TURCK傳感器靜態(tài)特性的主要參數(shù)有:線性度、靈敏度、遲滯、重復(fù)性、漂移等。
(1)線性度:指TURCK傳感器輸出量與輸入量之間的實(shí)際關(guān)系曲線偏離擬合直線的程度。定義為在全量程范圍內(nèi)實(shí)際特性曲線與擬合直線之間的zui大偏差值與滿量程輸出值之比。
(2)靈敏度:靈敏度是TURCK傳感器靜態(tài)特性的一個(gè)重要指標(biāo)。其定義為輸出量的增量與引起該增量的相應(yīng)輸入量增量之比。用S表示靈敏度。
(3)遲滯:TURCK傳感器在輸入量由小到大(正行程)及輸入量由大到?。ǚ葱谐蹋┳兓陂g其輸入輸出特性曲線不重合的現(xiàn)象成為遲滯。對(duì)于同一大小的輸入信號(hào),TURCK傳感器的正反行程輸出信號(hào)大小不相等,這個(gè)差值稱為遲滯差值。
(4)重復(fù)性:重復(fù)性是指TURCK傳感器在輸入量按同一方向作全量程連續(xù)多次變化時(shí),所得特性曲線不一致的程度。
(5)漂移:TURCK傳感器的漂移是指在輸入量不變的情況下,TURCK傳感器輸出量隨著時(shí)間變化,此現(xiàn)象稱為漂移。產(chǎn)生漂移的原因有兩個(gè)方面:一是TURCK傳感器自身結(jié)構(gòu)參數(shù);二是周圍環(huán)境(如溫度、濕度等)。
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