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簡(jiǎn)要描述:瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中,例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設(shè)計(jì) (25.2) 可供選擇,每個(gè)版本均采用最大電導(dǎo)率。
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瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)
任何條件下都能提供可靠的隔離25.2 高真空鋼瓶閥系列旨在用于包含攜帶腐蝕性物質(zhì)和粒子的氣體的惡劣工藝環(huán)境中,例如次晶圓廠工藝。該系列有角度 (25.0)、串聯(lián) (25.1) 和 3向2通路設(shè)計(jì) (25.2) 可供選擇,每個(gè)版本均采用最大電導(dǎo)率。
為提供耐用性和較長(zhǎng)的正常運(yùn)行時(shí)間,25.2 高真空鋼瓶閥系列具有密封保護(hù)系統(tǒng),兼具鋼瓶設(shè)計(jì)的高流導(dǎo)和更長(zhǎng)的密封壽命等優(yōu)勢(shì)。該密封保護(hù)系統(tǒng)通過(guò)鋼瓶?jī)A斜-轉(zhuǎn)動(dòng)-傾斜的動(dòng)作工作,在該動(dòng)作中,鋼瓶會(huì)通過(guò)提起動(dòng)作移除閥座上的閘封,以避免任何摩擦、密封磨損以及粒子的生成。在全開(kāi)啟(90° 旋轉(zhuǎn)后)的情況下,傾斜-轉(zhuǎn)動(dòng)-傾斜的動(dòng)作還會(huì)將密封件輕柔地壓向閥體,防止密封件接觸氣流中可能存在的磨蝕粒子。斷電時(shí),閥體機(jī)構(gòu)將被鎖定在打開(kāi)或關(guān)閉位置,維持閥體最后的位置。
25.2 高真空鋼瓶閥系列已經(jīng)安裝在數(shù)千個(gè)各種工藝條件下的要求苛刻的應(yīng)用中,證明了其可靠性。
25.2 高真空鋼瓶閥為氣動(dòng)型,帶有作為外部安裝配件的電磁閥。閥門位置通過(guò) LED 燈(10-30?VDC,5-100?mA)指示。
法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項(xiàng)為 ISO-KF 和 ISO-KF“羊角型"。標(biāo)準(zhǔn)閥板密封采用氟橡膠??杉煽蛻舴ㄌm以及特殊功能,例如加熱筒、其他密封材料或不銹鋼類型。
適用于惡劣環(huán)境,設(shè)計(jì)可靠、成熟
傾斜-旋轉(zhuǎn)-傾斜機(jī)制,保護(hù)密封
最大流導(dǎo)
優(yōu)勢(shì):
性能可靠
維護(hù)量少,可輕松維護(hù)
擁有成本較低
瑞士VAT閥25.2 高真空鋼瓶閥(三/雙向型)
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